光刻机

仪器名称：光刻机

仪器价值(万)：350000

生产制造商：墨科微电子（无锡）有限公司

规格型号：MA-4h

产地国别：中国

仪器分类：半导体集成电路工艺实验设备

存放地点：电子信息学院黄光工艺实训室

启用日期：2024年11月9日

参考收费标准：详见《九游网页版·官方版在线入口大型仪器设备开放共享服务收费标准》

联系人：杨捷   

联系方式:18329043501

仪器详情

主要功能：可用于微米级器件光刻曝光工艺

主要技术指标：接触式曝光、单面曝光、曝光分辨率1um、套刻精度1um、基片尺寸102mm

主要学科领域：半导体、集成电路

服务内容：教学实训服务：光刻工艺基础教学、设备专项技能培养；科研支撑服务：微结构加工、微米级器件光刻曝光工艺

收费依据：