半导体参数分析仪

仪器名称

半导体参数分析仪

仪器编号

2025121301

仪器分类

半导体光电测试设备

仪器价值

942000

生产厂家

上海概伦电子股份有限公司

规格型号

FS-Pro

产地国别

中国上海

购置日期

2025年5月15日

所属单位

九游网页版·官方版在线入口

存放地点

电子信息学院电子楼211

保管人

袁霖

二、仪器详情

主要功能

开展功能材料、半导体物理与器件等课程的教学

主要技术指标

1、半导体参数分析仪主机为Windows10操作系统，软件图形化界面, 全集成化

2、标准半导体器件参数测试库；纳米器件参数测试库；可靠性测试库；半导体C-V参数分析库，提供样板测量例程，提供绝大多数器件测量例程：MOSFET，双极器件，晶体管器件，晶体管电容器，电阻器和二极管；

1) 半导体参数分析仪系统机箱要具备可扩展性，最多支持8槽SMU扩展。

2) 系统具备2个高精度源测量单元（SMU）单元

3) 所有通道SMU的电流测量分辨率均：0.1fA；

4) 所有通道SMU的电流最大直流电流≥1A

5) SMU的最大电压源≥200V，最小电压测量分辨率≤0.2uV，电压测量精度0.016%+30μV

6) 最大直流功率20W，

7) 最大脉冲功率480W

8) 最短脉冲宽度50us；

9) 最大脉冲电流3A

10) 最快IV-T采集率555.55ns

11) C-V测试范围：40Hz-10MHz

主要学科领域

开展集成电路、功能材料、半导体物理与器件、材料物理、电子材料与器件等课程的教学能利用该设备的专业

服务内容

用于集成电路、功能材料、半导体物理与器件、材料物理、电子材料与器件等课程、测试、实验

三、对外开放共享信息

可开放时间段

周一到周五

费用明细

300元/小时

联系人

袁霖

联系方式

18755601168

备注

[填写其他需要说明的事项]